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半导体装备在高精度方面具有独特优势。半导体器件的制造对设备的精度要求非常高，包括光刻机、离子注入机、化学气相沉积机等各类半导体装备都需要达到亚微米级的高精度。而半导体装备的发展一直致力于提高精度水平，通过精密控制系统、好的传感器技术、高精度
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半导体装备在高精度方面具有独特优势。半导体器件的制造对设备的精度要求非常高，包括光刻机、离子注入机、化学气相沉积机等各类半导体装备都需要达到亚微米级的高精度。而半导体装备的发展一直致力于提高精度水平，通过精密控制系统、好的传感器技术、高精度
